Solutions d'étanchéité techniques pour la fabrication de semi-conducteurs

Lösen Sie Ihre komplexesten Dichtungsherausforderungen mit dem Portfolio erstklassiger Lösungen von Garlock.

Bewältigen Sie Ihre Herausforderungen in der Halbleiterfertigung mit unserer breiten Palette an Flüssigkeitsdichtungsprodukten, darunter Pumpenmembranen, Kompensatoren, Dichtungen und mehr. Gewährleisten Sie die Produktqualität und -reinheit in sensiblen Anwendungen, einschließlich Abluftwerkzeuganschlüssen, Reinstwasser, Zentralvakuum, Chemikalienverteilung, Spezialabfall, Zentraldampf, Kühlwasser, Spülwasser, Abwasser und Druckluft. Die Lösungen von Garlock sind auf Effizienz, lange Lebensdauer und minimalen Wartungsaufwand ausgelegt, wodurch kostspielige Ausfallzeiten reduziert und die Einhaltung von Umweltvorschriften sichergestellt werden.

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HALBLEITERPROZESSSYSTEME

Garlock Stress Saver Gaskets for Cross-Contamination Reduction

Ultrapure Water Systems (UPW) / STRESS SAVER® 3522 & STRESSSPARER® 370

Als Mikroelektronikhersteller ist die Eliminierung von Kontaminationsrisiken im Wasser- und Herstellungsprozess von entscheidender Bedeutung, um langfristige Zuverlässigkeit und die gewünschte Systemeffizienz sicherzustellen. Ideal für Reinstwassersysteme: Garlocks 100 % reiner PTFE STRESS SAVER® 3522 und der PTFE-gekapselte EPDM STRESS SAVER® 370 können die damit verbundenen Kreuzkontaminationsrisiken reduzieren mit herkömmlichen Flanschdichtungen. Die Dichtungen STRESS SAVER® 3522 und STRESS SAVER® 370 verfügen über eingeformte Spannungskonzentratoren, die die Kontaktfläche erheblich reduzieren und so eine geringe Belastung und zuverlässige Abdichtung ermöglichen. auch bei nicht perfekten Flanschverbindungen. Auf Wunsch sind auch spezielle hochreine Verpackungs- und Handhabungsoptionen verfügbar.

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Garlock Gylon High-Performance PTFE

GYLON® Hochleistungs-PTFE-Rohrflanschdichtungen

GYLON® wird mit einem Garlock-eigenen Verfahren hergestellt und verfügt über einzigartige physikalische Eigenschaften, die Kriechen und Kaltfluss reduzieren und so die Leistungszuverlässigkeit verbessern. GYLON® bietet eine hervorragende Leckageprävention, was zu einer längeren Betriebszeit, einem geringeren Wartungsaufwand und erheblichen Kosteneinsparungen führt.

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Gylon Pipe Flange Gaskets for the aggressive and volatile chemistries of semiconductor fabrication

Chemikaliendosierung / GYLON® Dichtungen

Die aggressiven und flüchtigen Chemikalien der Halbleiterfertigung erfordern Rohrleitungssysteme, die auf die Sicherheit von Menschen und die Einhaltung von Umweltvorschriften ausgelegt sind. Sorgen Sie für die Eindämmung von Lecks und verhindern Sie potenzielle Gefahren mit unseren proprietären Dichtungen, die Kriechen und Kaltfluss im Laufe der Zeit begrenzen und so zuverlässige und chemisch kompatible Dichtungslösungen gewährleisten.

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 Add Item RightColumn d X Edit Rich Content Chemical Handling & Distribution Systems / GYLON® Gaskets & SURE-LINK™ Pipe Expansion Joints

Chemikalienhandhabung & Verteilungssysteme / GYLON® Dichtungen & SURE-LINK™ Rohrkompensatoren

Rohrleitungssysteme für die Halbleiterfertigung müssen kritische Prozessmedien sicher transportieren. Garlocks GYLON® Dichtungen bieten eine hervorragende Kriech- und Kaltflussbeständigkeit für eine zuverlässige Abdichtung, sorgen für Prozesseffizienz und verhindern Systemausfallzeiten. Garlock SURE-LINK™ PTFE-Kompensatoren sind für die Bewältigung der höheren Druckanforderungen in der Verteilung von Massenchemikalien ausgelegt. SURE-LINK™ ist in verschiedenen Größen erhältlich. Kompensatoren können bei -100°C betrieben werden. F bis 450° F, bietet volle Vakuumfähigkeiten und mehr als 178 PSIG – abhängig von den Betriebstemperaturen.

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Chemical Exhaust Tool Hook-Up / GYLON® Style 3545 Gasket

Anschluss für chemisches Abgaswerkzeug / GYLON® Dichtung Typ 3545

Ätz-, Beschichtungs-, Reinigungs-, Trocknungs- und Verdampfungsprozesse erzeugen mit Chemikalien beladene Dämpfe, die aktiv aus den Werkzeugkammern evakuiert werden müssen, um eine Kontamination zu vermeiden. Diese Bedingungen erfordern ein chemisches Abgassystem mit leckagefreier Integrität. Garlocks GYLON® 3545 verwendet einen sehr anpassungsfähigen mikrozellulären PTFE-Körper mit einer starren PTFE-Mittelschicht und bietet bis zu 70 % Kompressibilität, universelle chemische Kompatibilität und eine dichte, zuverlässige Abdichtung, um Lecks in Ihrem Gerät zu verhindern chemische Abgassysteme.

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HALBLEITER-NUTZUNGSSYSTEME

Hydronics - Central Hot and Cold Water / MULTI-SWELL® Style 3760 Gaskets

Hydronics – Zentrales Warm- und Kaltwasser / MULTI-SWELL® Dichtungen des Typs 3760

Garlock MULTI-SWELL® Typ 3760 und 3760-U (NSF-61-zugelassen für Trinkwassersysteme) werden aus synthetischen Fasern und proprietären Füllstoffen hergestellt, um eine dichte Abdichtung zu erreichen und so den Wasserschutz zu unterstützen Bemühungen in zentralen Warm- und Kaltwassersystemen sowie anderen industriellen Dichtungsanwendungen. Die einzigartige Formulierung ist so konzipiert, dass sie mit Zielmedien wie Öl und Wasser reagiert und eine kontrollierte Quelltechnologie bietet. Eine kontrollierte Quellung hilft, der Entspannung in der Flanschbaugruppe entgegenzuwirken und sorgt im Laufe der Zeit für die Integrität der Dichtung. MULTI-SWELL® ist doppelt so komprimierbar wie Standard-Faserdichtungen und bietet auch Fehlertoleranz bei unregelmäßigen oder nicht perfekten Flanschbedingungen, was die Installation wesentlich nachsichtiger macht.

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With exceptional pressure and movement capability, the P2000 offers versatility for common piping applications for the most critical and safety-conscious sustainability requirements.

Zentrale Wärme- und Abfallsysteme / Dehnungsfuge Typ P2000

Zusätzlich zu anderen energiesparenden Technologien erfordern zentrale Wärme- und Abfallsysteme Nachhaltigkeit durch hydraulische Effizienz, thermische Regeneration, Wasserrückgewinnung und Abfallbehandlung. Der Kompensator Style P2000 kombiniert optimales mechanisches Design mit den neuesten Fortschritten in der Textil- und Elastomertechnologie. Mit außergewöhnlicher Druck- und Bewegungsfähigkeit bietet der P2000 Vielseitigkeit für gängige Rohrleitungsanwendungen für die kritischsten und sicherheitsbewusstesten Nachhaltigkeitsanforderungen.

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Garlock Style P2000 Expansion Joints offer versatility for the most critical and safety-conscious pump and piping applications.

Wartung von Versorgungseinrichtungen / GYLON EPIX® Stil 3500, 3504, 3510 Dichtungen & Kompensatoren des Typs P2000

Betriebsunterbrechungen aufgrund unsachgemäßer Schraubenbestückung, schlechter Flanschbedingungen, Medieninkompatibilität oder falscher Dichtungsauswahl können sich negativ auf das Endergebnis Ihrer Anlage auswirken. Die GYLON EPIX®-Flanschdichtungsfamilie wurde entwickelt, um diese Probleme zu verhindern. Sie eignet sich gut für Verbindungen, bei denen die Schraubenbelastung eine Herausforderung darstellt, und vereinfacht die Wartung bestehender Systeme.

Neben anderen Energie- und Wartungskosten senkenden Technologien bietet der Style P2000 langfristige Zuverlässigkeit bei verschiedenen Flanschverbindungen und Systemanwendungen. Der Kompensator Typ P2000 gleicht nicht nur die durch thermische Ausdehnung und Kontraktion verursachten Systemspannungen aus, sondern ist auch so konstruiert, dass er erhebliche und unvorhersehbare Druck- und Vakuumsystemstörungen auffangen kann. Der P2000 ist in einer breiten Palette von Materialien erhältlich und verfügt über außergewöhnliche Druck- und Bewegungsfähigkeiten. Er bietet Vielseitigkeit für die kritischsten und sicherheitsbewusstesten Pumpen- und Rohrleitungsanwendungen.

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WICHTIGE HALBLEITERANWENDUNGEN

Prozesssysteme: Reinstwasser, Zentralvakuum, Chemikalienverteilung, Spezialabfall
Versorgungssysteme: Zentraler Dampf, Kühlwasser, Spülwasser, Abwasser, Druckluft